Method for manufacturing homogeneous silica-titania glass

均質なシリカ・チタニアガラスの製造方法

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing homogeneous silica-titania glass in which the concentration of TiO 2 is uniform and there is no striae at least in one direction; and homogeneous silica-titania glass in which there is no striae at least in one direction or in three directions and the concentration of TiO 2 is uniform, and which is suitable as a reflective optical material or a reflection-type mask material for EUV lithography. SOLUTION: The method for manufacturing the silica-titania glass includes a preparing process for preparing a silica-titania glass body by introducing a silica raw material and a titania raw material into an oxyhydrogen flame, then depositing/growing silica-titania glass fine particles on a rotating base material in the vertical direction to prepare a porous glass body, and transparentizing the porous glass body by heating it in a furnace, and a removing process for removing a part, where the concentration is not uniform, of the outer peripheral part of the silica-titania glass body. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
【課題】 TiO 2 濃度が均一であり、少なくとも一方向に脈理のない均質なシリカ・チタニアガラスの製造方法、及び一方向あるいは三方向に脈理が存在せず、且つTiO 2 濃度が均一であり、EUVリソグラフィー用の反射光学材料又は反射型マスク材料として好適である均質なシリカ・チタニアガラスを提供する。 【解決手段】 シリカ原料及びチタニア原料を酸水素火炎中に導入し、シリカ・チタニアガラス微粒子を回転する基体上に垂直方向に堆積、成長して多孔質ガラス体を作製し、該多孔質ガラス体を炉内で加熱して透明化し、シリカ・チタニアガラス体を作製する作製工程と、前記シリカ・チタニアガラス体の外周部の濃度不均質部分を除去する除去処理工程と、を有するようにした。 【選択図】 図1

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