Apparatus and method for measuring solid form

立体形状計測装置および立体形状計測方法

Abstract

【課題】レンズを使用することなく立体形状を計測する装置を提供する。 【解決手段】立体形状計測装置は、波長λの光を発する光源110と、第1のピッチp 1 を有する第1の格子210と、第1の格子210から第1の距離L 1 だけ離れて配置される第2のピッチp 2 を有する第2の格子220と、画像センサ120とを備える。第1の距離と第1のピッチと波長との関係は、L 1 ≒ν(p 1 ) 2 /λ(νは整数)である。 【選択図】図2
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid form measuring apparatus without having to use a lens. SOLUTION: The solid form measuring apparatus includes a light source 110 for emitting light of a wavelength λ; a first lattice 210 having a first pitch p 1 ; a second lattice 220 having a second pitch p 2 and arranged at a first distance L 1 from the first lattice 210; and an image sensor 120. The relationship between the first distance and the first pitch is L 1 ≈ν(p 1 ) 2 /λ (ν is an integer). COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

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Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2000009445-AJanuary 14, 2000Fuji Photo Optical Co Ltd, 富士写真光機株式会社モアレ装置
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